La respuesta acelerada de la plataforma de coincidencia NavX minimiza la potencia reflejada para un control preciso de las características del plasma en procesos complejos de semiconductores
Advanced Energy Industries presenta la red de adaptación de impedancia NavX con algoritmos líderes en la industria y comunicación directa con el generador, lo que permite niveles superiores de control de plasma preciso y repetible, fundamental en la fabricación de la ‘Era Angstrom’.
Los procesos de grabado de semiconductores de próxima generación requieren niveles sin precedentes de control del plasma durante pulsaciones rápidas, transiciones frecuentes y recetas más largas que se necesitan para fabricar chips más pequeños, más rápidos y eficientes con estructuras 3D más complejas.
La red de emparejamiento NavX de Advanced Energy está diseñada específicamente con comunicación directa con generador de coincidencia y ajuste ultrarrápido que aprovecha el hardware AE y los algoritmos patentados. Esto permite la adaptación de impedancia sincronizada con RF durante estados de pulso multinivel para un control preciso de las características del plasma. Junto con el generador eVerest, NavX completa el último sistema de entrega de RF (RFDS) de AE, lo que permite un control sin precedentes de las características del plasma.
«Sobre la base de más de 20 años de experiencia en el desarrollo de sistemas avanzados de entrega de RF para procesos de plasma, la red de adaptación NavX redefine la velocidad de sintonización, la sofisticación y la sincronización de RF para un control exacto del plasma en los perfiles de pulsación más complejos», dijo Juergen Braun, vicepresidente senior de productos de energía de plasma de Advanced Energy. «El innovador algoritmo de sintonización seleccionable de la plataforma, que permite la adaptación de impedancia a múltiples estados de pulso de RF, reduce instantáneamente la potencia reflejada en procesos con tiempos de RF más cortos».
NavX se sincroniza directamente con el generador de RF eVerest e incorpora algoritmos patentados de sintonización seleccionable avanzada y sintonización de velocidad que optimizan las velocidades de respuesta para secuencias de pulsos. El rango de frecuencia de +/- 10% del sistema permite una sintonización más rápida y acceso a un rango de impedancia más amplio. La inmunidad a la distorsión de intermodulación (IMD) mantiene la precisión de sintonización en aplicaciones multifrecuencia, y los estados de pulso escalables proporcionan un camino hacia nuevos regímenes de energía.
La red de coincidencia NavX es totalmente compatible con la plataforma IoT PowerInsight by Advanced Energy, que proporciona un acceso rápido a datos procesables de alta resolución que respaldan la optimización de procesos.
